機械工学先端講義第三

今日は大学院向けの集中授業にもぐってきました。授業内容は半導体デバイス製造用ウエットプロセス装置の高性能化というものです。主に半導体についての内容ですが、現在研究で自分が使用しているシリコンウエハーと非常に関係があるので、出てみました。内容はなかなか面白く、半導体の製造方法など非常にわかり易かったですね。